本文用IR-450S型红外分光光度计测量了湿氧热氧化、开管水蒸汽热氧化和氧等离子体阳极氧化SiO_2膜在室温下的红外吸收光谱。实验表明,在2.5～50μm波段内,其红外吸收带的位置均靠近9.26μm、12.42μm和21.88μm。
刘春荣.硅上SiO_2膜的红外吸收光谱[J].红外与毫米波学报,1985,4(3):].[J]. J. Infrared Millim. Waves,1985,4(3).]
