TN215.03
采用离子束刻蚀制备了线列长方形拱面熔凝石英微透镜阵列，用准分子激光扫描消融法淀积了性能均匀而且稳定的ＹＢａ２Ｃｕ３Ｏ７－δ高温超导薄膜，用湿法刻蚀制备了超导薄膜器件，用微透镜阵列与超导薄膜器件耦合构成组合式红外探测器。
张新宇 刘鲁勤.微透镜阵列用于线列红外探测器的研究[J].红外与毫米波学报,1998,17(2):147~152]. ZHANG Xin Yu YI Xin Jian ZHAO Xing Rong MAI Zhi Hong HE Mi Ao. IR DETECTOR ARRAY WITH QUARTZ MICROLENS[J]. J. Infrared Millim. Waves,1998,17(2):147~152.]
