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首页 > 过刊浏览>2001年第20卷第3期 >203-206
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ZnS头罩增透保护膜系制备
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中图分类号:

O484.41

基金项目:

国防“九五”预研基金 (编号 J12 .2 .8)资助项目，陕西省自然科学 基金 (编号 99C2 9)资助项目&&


ANTIREFLECTIVE AND PROTECTIVE FILMS PREPARATION ON ZnS DOME
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    利用计算机对不同运动轨迹下ZnS头罩外表面膜厚分布进行了模拟，优化出头罩的最佳运动轨迹，在该轨轨迹下采用射频磁控反应溅射（RRFS）法进行头罩镀膜，能够得到满足使用要求的薄膜厚度均匀性。实验结果表明,头罩外表面薄膜厚度不均匀性小于10％，双面镀膜后，8－11.5 μm波段平均透过率从69.6%提高到87．2％以上，透过率的不均匀性小于1．2％，满足了红外应用中对ZnS头罩的要求。

    Abstract:

    参考文献
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    引证文献
引用本文

宋建全 刘正堂 等. ZnS头罩增透保护膜系制备[J].红外与毫米波学报,2001,20(3):203~206]. SONG Jian Quan LIU Zheng Tang YU Zhong Qi GENG Dong Sheng ZHENG Xiu Lin. ANTIREFLECTIVE AND PROTECTIVE FILMS PREPARATION ON ZnS DOME[J]. J. Infrared Millim. Waves,2001,20(3):203~206.]

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  • 最后修改日期:2000-10-12
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